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针阀

精确控制单位时间流到真空腔室的气体流量

针阀
详细内容
特点

流量控制范围广

集成截止阀

可在不丢失流量设置的情况下关闭


参数
公称通径 英寸 主要材质 法兰 驱动器 部件编号
DN10(粗略气体计量) 1/2 ISO-KF 手动 07060101
DN16(精确气体计量) 5/8 不锈钢 ISO-KF 手动 07060201